能量色散X射線熒光光譜技術的原理和優點分析
發布時間：2023-04-04
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能量色散X射線熒光光譜（EDXRF）是一種快速、無損、多元素同時測定的現代測試分析技術，已廣泛應用于材料科學、生物醫學、地質研究、環境監測、天體物理、文物考古等諸多領域。
能量色散X射線熒光光譜分析原理：
采用X射線作為樣品信號的激發源，其產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入固體探測器。 然后用多道分析器對整個熒光光譜的能量信息進行分析，通過探測元素特征X射線并識別其能量，來判別被測樣品中所含元素，即為X射線熒光光譜定性分析。
而具有某種能量的X射線強度的大小，與被測樣品中能發射該能量的熒光X射線的元素含量有直接關系，測量這些譜線的強度并處理計算，就可以得出元素含量。即為X射線熒光光譜定量分析。
采用X射線作為樣品信號的激發源，其產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入固體探測器。
而具有某種能量的X射線強度的大小，與被測樣品中能發射該能量的熒光X射線的元素含量有直接關系，測量這些譜線的強度并處理計算，就可以得出元素含量。即為X射線熒光光譜定量分析。
能量色散X射線熒光光譜具有如下優點：
①儀器結構簡單，省略了晶體的精密運動裝置，也無需精度調整。還避免了晶體衍射所造成的強度損失。光源使用的X-射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發生器和冷卻系統，空氣冷卻即可，節省電力。
②能量色散型熒光光譜儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X-射線的利用率很高，不需要光學聚集，在累積整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光譜儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。
③在能量色散型熒光光譜儀中，樣品發出的全部特征X-射線光子同時進入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導體檢測器X-射線光譜儀能比晶體X-射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。
④能量色散法的一個附帶優點是測量整個分析線脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強度。因此，減小了化學狀態引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減小了儀器的漂移影響，提高凈計數的統計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，見笑了偶然錯誤判斷某元素的可能性。
